等離子蝕刻機(jī)（干刻）與等離子清洗機(jī)是一件事嗎？

ailuanbu · 發(fā)表于 2018-11-22 15:03

國(guó)內(nèi)這個(gè)領(lǐng)域的設(shè)備制造處于什么水平？

libaidexiaohao · 發(fā)表于 2018-11-22 15:04

本帖最后由 libaizibubai 于 2018-11-22 15:06 編輯

一個(gè)是用來(lái)制作TFT器件的關(guān)鍵制程設(shè)備，一個(gè)是用來(lái)清除有機(jī)物的清洗設(shè)備。
原理上類(lèi)似，不過(guò)復(fù)雜程度完全不一樣。
上班期間，先隨便寫(xiě)一下。后面再編輯。
抱歉，拖了這么久才寫(xiě)。
言歸正傳，
要說(shuō)等離子刻蝕機(jī)，我們先從TFT的這個(gè)工序說(shuō)起。

說(shuō)起Dry Etch（以下簡(jiǎn)稱(chēng)DE，又稱(chēng)干刻）這個(gè)制程，我們先來(lái)看看刻蝕是啥玩意：

刻蝕嘛，分為干刻和濕刻。
等離子蝕刻機(jī)（干刻）與等離子清洗機(jī)是一件事嗎？

利用特定的溶液和薄膜發(fā)生反應(yīng)，這個(gè)叫濕刻。
利用等離子電漿去除未被PR覆蓋的薄膜，這個(gè)叫干刻，顧名思義，這個(gè)制程是沒(méi)有液體參與的。

DE這個(gè)制程，工藝原理如下：

等離子蝕刻機(jī)（干刻）與等離子清洗機(jī)是一件事嗎？

Plasma，是一種電離氣體，通過(guò)DE機(jī)臺(tái)產(chǎn)生的。

那么來(lái)說(shuō)等離子刻蝕機(jī)：

網(wǎng)上找個(gè)圖片，參考一下：
等離子蝕刻機(jī)（干刻）與等離子清洗機(jī)是一件事嗎？

一般一臺(tái)機(jī)有幾個(gè)腔室，腔室的構(gòu)造目前主要分為如下幾種：
等離子蝕刻機(jī)（干刻）與等離子清洗機(jī)是一件事嗎？

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，就是基板在電極的不同側(cè)，然后控制Plasama的方式不同。
另外，因?yàn)镈E的條件不同，需要不同的氣體，如CL2，SF6等。
還有為保證Plasma質(zhì)量，需要高真空度。

那么等離子清洗機(jī)呢？
這個(gè)構(gòu)造就簡(jiǎn)單的多了，它不用來(lái)刻蝕，僅僅是清洗玻璃表面的有機(jī)物。不需要高真空，也不需要特殊氣體。
沒(méi)找到圖片，簡(jiǎn)單畫(huà)了一個(gè)，不要介意。
等離子蝕刻機(jī)（干刻）與等離子清洗機(jī)是一件事嗎？

這個(gè)東西就是一個(gè)長(zhǎng)方形盒子，玻璃從底下走過(guò)去的時(shí)候，實(shí)現(xiàn)清洗功能。
它的原理就是電離空氣中的O2，產(chǎn)生氧離子，和有機(jī)物發(fā)生反應(yīng)。

bujianqingshan · 發(fā)表于 2018-11-22 15:04

簡(jiǎn)單來(lái)將蝕刻和清洗是兩種不同工藝，通的工藝氣體不同。等離子清洗機(jī)國(guó)產(chǎn)的非常多了，如果不是對(duì)均勻性和溫度要求高的話(huà)，國(guó)產(chǎn)基本能滿(mǎn)足。至于蝕刻機(jī)，老實(shí)說(shuō)就算進(jìn)口做的好的品牌也屈指可數(shù)。

dalaobaoge · 發(fā)表于 2018-11-22 15:04

CVD=Chemical Vapor Deposition ，在相當(dāng)高的溫度下，混合氣體與工件表面相互作用，使混合氣體中的某些成分分解，在工件表面形成金屬或化合物固態(tài)薄膜或鍍層。其為T(mén)FT制造中的一道重要工序。
等離子清洗主要為對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化變成等離子狀態(tài)。通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔目的，主要用于清潔有機(jī)物。

yaqiuqiu · 發(fā)表于 2018-11-22 15:04

樓上那個(gè)強(qiáng)強(qiáng)基本說(shuō)的就是你要的答案了，你要說(shuō)國(guó)內(nèi)的設(shè)備制造水平，那我可以給你講就是基本為零，我們用的基本所有設(shè)備都是進(jìn)口日韓以及歐美的設(shè)備的。

gezilaozhang · 發(fā)表于 2018-11-22 15:05

本帖最后由 libaizibubai 于 2018-11-22 15:07 編輯

然而我只認(rèn)得字

shiqixiaoma · 發(fā)表于 2018-11-22 15:05

本帖最后由 libaizibubai 于 2018-11-22 15:07 編輯

不過(guò)偶什么都不會(huì)

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